产品详情
简单介绍：
通过准确测量MEMS装置内的粗糙度，可以控制表面的相互作用-无论这些相互作用是微型齿轮系统中固体与固体之间的相互作用，还是微型流体泵中固体与液体之间的相互作用。
详情介绍：
MEMS和纳米技术
微型机电系统（MEMS）如今用于许多应用领域，其中包括压力和加速度传感器、微晶镜片显示装置和微型流体泵。MEMS装置充分利用集成电路行业所使用的制造技术，来创建诸如齿轮、隔膜和结合梁之类的机械构件。准确测量所有这些构件对于满足低成本高质量的MEMS装置的批量生产要求至关重要。
计量
粗糙度
通过准确测量MEMS装置内的粗糙度，可以控制表面的相互作用-无论这些相互作用是微型齿轮系统中固体与固体之间的相互作用，还是微型流体泵中固体与液体之间的相互作用。
台阶高度
监控MEMS装置的台阶高度是一项重要的性能指标。台阶高度与横向尺寸信息一起可以提供有效的质量近似值，此近似值可影响装置中单个元件的基本振荡频率。
横向尺寸
在对微型齿轮和流体系统进行定性时，横向尺寸特别重要。对体积和表面积以及诸如梁宽之类的重要尺寸进行准确测量，有助于控制*终装置的性能。
