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产品详情
  • 产品名称:激光蚀刻测量

  • 产品型号:Talysurf
  • 产品厂商:英国TAYLOR HOBSON
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简单介绍:
台阶高度、粗糙度是激光蚀刻工艺要控制的参数
详情介绍:

激光蚀刻测量

激光蚀刻是用于集成电路打印标号的主要方法之一。其部分原因是由于激光标记是防窜改的识别方法。防窜改标记大大有助于减少IC赝品,它还有助于销售具有较高速度和规格的IC产品。

计量

台阶高度
由于IC封装变得更小更薄,所以激光蚀刻台阶高度的测量要求也变得更加重要。激光蚀刻的目标深度通过两项指标要求来描述。首先,深度必须足以提供可被IC系统读出的防篡改标记,其次,深度不可过度,不能损坏芯片上的电路。

粗糙度
蚀刻标记的表面粗糙度是控制能否通过机器或人眼轻易读出*终标识的一个重要因素。表面越粗糙,分散的光越多,这样可增加标记与其周围表面之间的对比度。

 

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